快速加热处理系统及其硫化方法 CN201210072588.2

本发明公开了一种快速加热处理系统，包括快速加热处理炉、背电极基板及遮盖。背电极基板设置在快速加热处理炉的反应室内且形成有前趋物层及硒物质，硒物质形成在前趋物层上。遮盖设置在对应背电极基板的硒物质的位置上且形成有与硒物质彼此相对的固态硫。固态硫在吸收快速加热处理炉的加热装置所产生的热能后，与硒物质及前趋物层反应以形成光电转换层。本发明利用将沉积有固态硫的遮盖与沉积有硒物质及前趋物层的背电极基板彼此相对且使用快速加热处理方式进行快速加热的设计，以产生具有较低制程温度且较短反应时间的硫化制程。
专利号：201210072588.2
专利申请日：2012.03.16
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.06.05
分类号：
申请（专利权）人：绿阳光电股份有限公司
发明（设计）人：李适维;林明弘;蔡耀仓
国别省市：台湾;71