多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法 CN201110185259.4

本发明公开一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法，包括以下步骤：a：将石英块料和石英粗颗粒料、第一部分氧化铝球石和高纯水在球磨设备中研磨成中粒径为6-12μm的半成品浆料；b：加入石英细颗粒料和第二部分氧化铝球石，和步骤a中的半成品浆料一起混合均匀，制作成中粒径为10-50μm的成品浆料；c：成品浆料进行除泡处理，常压下注入石膏模具中，静止放置1-2天以脱水，然后脱模形成半成品坩埚；d：半成品坩埚在90-190℃的温度下干燥；e：将干燥后的坯体放入窑炉，在900-1200℃的温度下烧结12-20小时，获得多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚。本发明方法烧结出的坩埚结构致密、均匀、体积密度高，并且断裂模数高。
专利类型：发明
专利号：201110185259.4
专利申请日：2011.07.04
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.1.9
分类号：
申请（专利权）人：徐州协鑫太阳能材料有限公司
发明（设计）人：杨军;韩涛;余新才
国别省市： 江苏;32