太阳能电池扩散退火工艺 CN201210268476.4

本发明涉及一种太阳能电池扩散退火工艺，包括前氧化、衡温预淀积、主扩散变温推进、降温、退火、退舟等步骤。本发明以衡温退火来修复晶格，减少高温扩散带来的热缺陷，降低漏电，提升Uoc、Isc，同时该退火工艺能起到二次推进的作用，更进一步降低“死层”、激活磷原子，提高载流子(电子—空穴对)密度,最终提升电池转换效率2%-3%以上。
专利类型：发明
专利号：201210268476.4
专利申请日：2012.07.31
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.12.5
分类号：
申请（专利权）人：江苏顺风光电科技有限公司
发明（设计）人：陈剑锋;陆宁;陈文翔
国别省市：江苏;32