一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法 CN201210291958.1

本发明涉及太阳能光伏应用领域，特别涉及一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法。本发明一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法在于：AlNi合金通过金属Ni和Al双靶共溅射来制备，圆形Al靶和Ni靶的直径均为75mm，厚度分别为5mm和3mm，纯度分别为5N和3N；使用高纯氩气作为放电气体，工作气压为0.5Pa。本发明采用AlNi合金可以很好的解决上述问题。AINi合金具有熔点高、性能稳定及抗氧化性能好等特点，AINi合金有可能是适合用于柔性电池的最好的阻挡层材料之一。
专利类型：发明
专利号：201210291958.1
专利申请日：2012.08.16
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.11.28
分类号：
申请（专利权）人：青海天普太阳能科技有限公司
发明（设计）人：杨志刚
国别省市：青海;63