光谱散射共振调制高效晶硅太阳能电池制备方法 CN201210238085.8

本发明公开了一种利用表面Si纳米晶、金属硅化物纳米晶的光谱散射共振调制高效晶硅太阳能电池制备方法，其包括如下工艺步骤：酸或碱在晶硅硅片表面制绒、三氯氧磷扩散形成PN结、表面沉积Si薄膜、快速热退火形形成Si纳米晶、表面沉积金属薄膜/硅薄膜、快速热退火形成金属硅化物纳米晶、Si3N4减反膜制备、背面和正面丝网印刷形成正电极和负电极、退火合金完成电池的制备。本发明充分利用现有的生产设备，并利用物理原理和过程，具有生产工艺简单、增加设备不多，易于产业化并降低生产成本的特点。
专利类型：发明
专利号：201210238085.8
专利申请日：2012.07.11
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.10.17
分类号：
申请（专利权）人：辽宁朝阳光伏科技有限公司
发明（设计）人：王成林
国别省市：辽宁;21