一种太阳能电池片的场强扩散方法 CN201210254322.X

本发明提供一种太阳能电池片的扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：将装载于可放电的石墨舟上的太阳能电池片放入高温扩散炉中，所述高温扩散炉中设有用于高频放电的电极，所述石墨舟与所述电极相连；将所述高温扩散炉中温度升温至850℃；向高温扩散炉中通入磷烷、氧气和氮气，其中磷烷的通入流量为0.5～1L/min，氧气的通入流量为0.5～1L/min，氮气的通入流量为5～10L/min，并将所述高温扩散炉内压力自动控制在170Pa；通过所述电极对所述石墨舟施加高频电源，使所述石墨舟对太阳能电池片放电，所述高频电源的放电功率为3000W～5000W，放电时间120s，放电结束时扩散完成。
专利类型：发明
专利号：201210254322.X
专利申请日：2012.07.23
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.10.17
分类号：
申请（专利权）人：恒昇新能源光伏（苏州）科技有限公司
发明（设计）人：陈必雄
国别省市：江苏;32