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发明专利氧化锌凹凸结构的形成方法及利用其的太阳能电池的制造方法 2012800151138
本发明涉及一种以湿式蚀刻方法在氧化锌薄膜上形成纳米单位的凹凸结构的方法,其特征在于,包括:准备基板的步骤;形成具有纳米范围的高度与宽度的纳米结构的步骤;在形成有所述纳米结构的基板上形成氧化锌薄膜的步骤;以及对所述氧化锌薄膜进行湿式蚀刻的步骤;在所述进行湿...
更新:2014-12-31 16:55:29  查阅全文...
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