- 发明专利一种太阳能电池减反射膜及其制备方法 CN201810384340.7
- 本发明涉及一种太阳能电池减反射膜的制备方法，其采用PECVD设备制备减反射膜，减反射膜包括第一氮化硅膜和第二氮化硅膜，制备第一氮化硅膜时，控制氨气和硅烷的流量比为3～5:1，制备第二氮化硅膜时，控制氨气和硅烷的流量比为10～12:1，并控制制备第一氮化硅膜和第二氮化硅...
- 更新：2018-09-30 09:33:46 查阅全文...
- 发明专利太阳能电池减反射膜的制备方法 CN201710521556.9
- 本发明公开了一种太阳能电池减反射膜的制备方法，包括：在扩散后的晶体硅片的受光面上采用PECVD一次沉积折射率渐变的SiNx减反射膜。本发明的技术方案工艺简单，对晶体硅片的损伤小，有利于提高电池的转换效率和开路电压，也有利于改善镀膜过程中膜层沉积的均匀性。 专利类型...
- 更新：2017-09-13 12:37:28 查阅全文...
- 发明专利太阳能电池减反射膜及其制备方法 2013102464434
- 本发明提供了一种太阳能电池减反射膜，其由依次叠加设置的非晶硅层、第一氮化硅薄膜与第二氮化硅薄膜组成；所述非晶硅层设置于太阳能电池硅片表面。本发明还提供了所述太阳能电池减反射膜的制备方法。在制备减反射膜的过程中，本发明利用等离子体增强气相沉积法在太阳能电池...
- 更新：2014-12-25 16:14:12 查阅全文...
- 发明专利一种太阳能电池减反射膜的制作方法 CN201310489233.8
- 本发明公开了一种太阳能电池减反射膜的制作方法，具体步骤如下：（1）沉积氮化硅膜层：将完成酸制绒、磷扩散和刻蚀清洗的P型多晶硅片置于镀膜设备中，通入反应气体NH3和SiH4，在硅片表面沉积至少一层均匀的氮化硅膜层；所述SiH4和NH3气体标准状态下的流量比例为1∶1～40；（...
- 更新：2014-03-07 09:47:23 查阅全文...
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