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发明专利双面电池的掺杂方法 CN201610297904.4
本发明公开了一种双面电池的掺杂方法,包括:对硅衬底双面制绒,该硅衬底具有第一表面以及与该第一表面相对的第二表面;对该硅衬底的第一表面进行磷离子注入,注入剂量至少为2.5e15/cm2;通过背靠背扩散的方式对该硅衬底的第二表面进行硼扩散以在第二表面侧的硅衬底中形成硼...
更新:2017-11-15 19:00:27  查阅全文...
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