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一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺 CN202010423181.4
本发明公开了一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺,选取金刚线切割得到的多晶硅片为基片,将基片依次放入硝酸、氢氟酸中进行清洗抛光,去除基片表面损伤层;再在基片正表面制备光刻掩膜层,再通过蒸汽制绒法制绒,接着在基片正表面通过POCL3液态扩散源热扩散法制备P...
更新:
2020-08-30 15:14:08
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