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硅基异质结太阳能电池真空处理系统及电池制备方法 CN201210589702.9
本发明涉及一种硅基异质结太阳能电池的真空处理系统及电池的制备方法,所述硅基异质结太阳能电池真空处理系统包括:将装有硅片的托盘传入或传出所述真空处理系统的进/出片腔,至少一个反应腔,在所述反应腔内对硅片进行化学气相沉积处理以沉积非晶硅薄膜,所述真空处理系...
更新:
2014-07-04 09:47:48
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