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发明专利一种白光光源的制备方法 CN201710620904.8
一种白光光源的制备方法,该方法包括如下步骤:在衬底上外延激光器结构;掩膜光刻刻蚀掉有源区以外的多量子阱区;沉积一层介质膜,利用光刻掩膜开光栅窗口,干法刻蚀多量子阱层;利用激光束全息曝光形成光栅;外延上波导层、生长p型层;光刻成单脊条形;光刻点隔离区域,沉...
更新:2017-11-15 19:04:19  查阅全文...
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