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变容二极管生产方法 变容二极管加工工艺技术 变容二极管制造方法
1、变容二极管和制造变容二极管的方法 2、半导体光控变容器 3、半导体电压控制变容器 4、制造肖特基变容二极管的方法,包括:(a) 在半导体衬底(1)上提供一外延层(12);(b)提供一绝缘层,该绝缘层包括在外延层(12)表面预定区域上的氧化物层和氮化物层;(c) 淀积一多晶硅层(6);(d)施加第一高温步骤扩散围绕第一预定区域的保护环(10);(e)除去多晶硅层(6)的预定部分露出第一氮化硅膜(5);(f)将原子注入穿过至少第一氧化物膜(4)提供预定的变容二极管掺杂轮廓;(g)施加第二高温步骤退火并激活变容二极管掺杂轮廓;(h)除去第一氧化物膜(4)提供露出的区域;(i)在露出的区域上提供肖特基电极(17)。 5、使用了变容二极管的可变调谐电路以及电视调谐器 6、变容二极管及其制造方法 7、栅极控制变容管结构及其生产方法 8、基于变容二极管的环形振荡器 9、有金属氧化物半导体变容二极管的半导体器件及制造方法 10、变容二极管 11、具有集成变容二极管的有源像素传感器单元 12、使用隔离阱的MOS变容二极管 13、包括具有变容二极管的平衡混频器的混频电路 14、变容二极管调谐预选器设计方法 15、并行变容二极管电容器 16、模拟变容二极管
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