光产酸剂生产工艺,光产酸剂专利技术,光产酸剂配方,光产酸剂制备方法

1、一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
2、一种由苦参碱合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
3、一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
4、由长春布宁合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法
5、一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂
6、一种非离子型肟酯类光产酸剂
7、能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂
8、锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物
9、一种磺酸酯基硫杂蒽酮类光产酸剂及其制备方法
10、一种光产酸剂及其制备方法和应用
11、一种浸没式ArF光刻用光产酸剂及光刻胶组合物
12、一种193nm浸没式光刻用光产酸剂及光刻胶组合物
13、一种浸没式ArF光刻用的光产酸剂及其中间体
14、一种193nm浸没式光刻用光产酸剂的制备方法
15、一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂的制备方法
16、一种浸没式ArF光刻用光产酸剂的制备方法
17、锍盐、光产酸剂及感光性组合物
18、一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂的应用
19、一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂
20、一种193nm浸没式光刻用光产酸剂及其中间体
21、锍盐、光产酸剂及感光性组合物
22、芳香族锍盐化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物
23、磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物
24、新型磺酰亚胺盐化合物、其制造方法和包含其的光产酸剂以及感光性树脂组合物
25、一种磺酸肟酯类光产酸剂
26、新型磺酸衍生物化合物、光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物以及阳离子聚合性组合物
27、锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物
28、可聚合光产酸剂
29、具有含氟碳负离子结构的盐及其衍生物、光产酸剂以及使用其的抗蚀材料和图案形成方法
30、光产酸剂用化合物以及使用它的抗蚀剂组合物、图案形成方法
31、N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯类光产酸剂及其合成方法
32、带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物