管式PERC双面太阳能电池及其制备方法和专用设备 CN201710353392.3

本发明公开了一种管式PERC双面太阳能电池，包括背银主栅、铝栅线、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正银电极；所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成，所述管式PECVD设备设有硅烷、氨气、********、笑气四条气体管路，所述管式PECVD设备装卸硅片的器具为石墨舟，石墨舟的卡点槽的深度为0.5‑1mm。本发明还公开了一种管式PERC双面太阳能电池的制备方法及专用设备。采用本发明，可双面吸收太阳光，光电转换效率高，外观良率和EL良率高，解决划伤和绕镀的问题。
专利类型：发明
专利号：201710353392.3
专利申请日：2017.05.18
公开（公告）日：2017.10.17
申请（专利权）人：广东爱康太阳能科技有限公司; 浙江爱旭太阳能科技有限公司;
发明（设计）人：方结彬; 林纲正; 赖俊文; 何乃林; 殷文杰; 何达能; 陈刚;
国别省市：广东;44