改善PERC高效电池片外观小白点的退火工艺 CN201710470048.2

本发明涉及太阳能电池片技术领域，尤其是一种改善PERC高效电池片外观小白点的退火工艺，该退火工艺包括以下步骤：a：将炉管温度调低为550℃，然后将硅片放入炉管内，随后通入5000±1000sccm氧气，与硅片表面杂质发生氧化反应；b:再向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除硅片表面杂质；c：将炉管内温度提升至700±20℃，然后通入1000sccm氮气用以保护硅片表面，避免二次污染；d：硅片出炉管后降温至550℃，本发明在常规退火工艺去水汽的基础上，能够再次去除硅片表面杂质，并更好的保护硅片表面。
专利类型：发明
专利号：201710470048.2
专利申请日：2017.06.20
公开（公告）日：2017.10.17
申请（专利权）人：常州亿晶光电科技有限公司;
发明（设计）人：徐泽宇; 孙铁囤; 姚伟忠;
国别省市：江苏;32