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改善PERC高效电池片外观小白点的退火工艺 CN201710470048.2


本发明涉及太阳能电池片技术领域,尤其是一种改善PERC高效电池片外观小白点的退火工艺,该退火工艺包括以下步骤:a:将炉管温度调低为550℃,然后将硅片放入炉管内,随后通入5000±1000sccm氧气,与硅片表面杂质发生氧化反应;b:再向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫,去除硅片表面杂质;c:将炉管内温度提升至700±20℃,然后通入1000sccm氮气用以保护硅片表面,避免二次污染;d:硅片出炉管后降温至550℃,本发明在常规退火工艺去水汽的基础上,能够再次去除硅片表面杂质,并更好的保护硅片表面。
专利类型:发明
专利号:201710470048.2
专利申请日:2017.06.20
公开(公告)日:2017.10.17
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司;
发明(设计)人:徐泽宇; 孙铁囤; 姚伟忠;
国别省市:江苏;32


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