一种太阳能电池用硅片及其镀膜工艺与镀膜设备 CN201710436010.3
本发明公开了一种太阳能电池用硅片，其包括有硅片本体；所述硅片本体的端面之上依次设置有氧化硅膜层、第一氮化硅膜层、第二氮化硅膜层与第三氮化硅膜层；本申请中的太阳能电池用硅片及其镀膜工艺与镀膜设备，其可使得太阳能电池用硅片进行镀膜处理过程中的镀膜效果以及效率得以显著提高，并在上述镀膜工艺以及设备的基础上使得太阳能电池用硅片的膜层结构得以改善，进而使得太阳能电池用硅片的实际工作性能得以进一步的提高。
专利类型：发明
专利号：
201710436010.3
专利申请日：
2017.06.12
公开（公告）日：
2017.09.26
申请（专利权）人：
徐州中辉光伏科技有限公司;
发明（设计）人：
吴卫伟; 丰平; 张辉; 杜岳龙;
国别省市：
江苏;32
