一种防止EL污染的太阳能电池板刻蚀工艺 CN201710259492.X

本发明涉及电池片刻蚀技术领域，具体为一种防止EL污染的太阳能电池板刻蚀工艺，包括以下步骤：步骤1，镀膜准备，在待刻蚀硅片的上、下表面均镀上一层铝膜；步骤2，初级除杂；步骤3，次级除杂，浸入初级刻蚀液中；步骤4，去除剩余铝膜；步骤5，刻蚀准备；步骤6，进行刻蚀。本发明通过初级除杂时铝膜、氧气以及变温加热的效果，实现对硅片的除杂，然后通过次级除杂时的初级刻蚀液与铝膜的反应作用，使得铝膜对硅片内部的杂质进一步吸附，从而更好的实现硅片除杂功能，在硅片的刻蚀过程中，通过初级除杂和次级除杂的作用，在刻蚀的同时有效的防止EL污染，减少漏电电池板和隐裂电池板的产生，非常有效。
专利类型：发明
专利号：201710259492.X
专利申请日：2017.04.20
公开（公告）日：2017.06.13
申请（专利权）人：通威太阳能（合肥）有限公司;
发明（设计）人：李亮亮; 苏世杰; 张玉前; 查志军; 陈世琴;
国别省市：安徽;34