一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池制备方法 CN201611238225.6

本发明公开了一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池制备方法；其特征在于：包括如下步骤：步骤1、在苏打玻璃衬底上，采用高温共蒸发工艺制备CIGS光吸收层；步骤2、黏贴临时支撑层；步骤3、去除苏打玻璃衬底；步骤4、键合柔性衬底；步骤5、去除临时支撑层；具体为：首先采用柠檬烯溶解CIGS光吸收层表面的石蜡，将临时支撑衬底与石蜡去除，并用去离子水清洗，氮气吹干；然后采用化学水浴法制备工艺沉积厚度为50～80nm的CdS缓冲层；采用磁控溅射工艺在缓冲层上，分为沉积厚度为50nm的本征氧化锌薄膜和300～800nm的ITO薄膜，采用电子束蒸发工艺在ITO薄膜上制备3μm的铝电极，完成电池器件的制备。
专利类型：发明
专利号：201611238225.6
专利申请日：2016.12.28
公开（公告）日：2017.05.31
申请（专利权）人：china电子科技集团公司第十八研究所;
发明（设计）人：王赫; 姚立勇; 杨亦桐; 张超; 杨立; 邓超文;
国别省市：天津;12