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一种全背接触高效晶硅电池金属图形化制作方法 CN201510597972.8
本发明涉及一种全背接触高效晶硅电池金属图形化制作方法,对全背接触晶体硅电池进行背面高温硼扩散形成发射结、背面磷扩散形成背表面场、正面磷扩散前表面场、正面/背面钝化减反射层沉积处理,然后进行电极图形及金属化处理工艺,完成全背接触高效晶硅电池金属图形化的制作。与现有技术相比,本发明在后续金属化中不需要昂贵的光刻设备、PVD或溅射等大型金属沉积设备,且与常规量产丝网印刷设备兼容,大幅度降低全背接触晶体硅电池制备成本。 专利类型:发明 专利号:201510597972.8 专利申请日:2015.09.18 公开(公告)日:2017.03.29 申请(专利权)人:上海神舟新能源发展有限公司; 发明(设计)人:汪建强; 钱峥毅; 郑飞; 林佳继; 张忠卫; 石磊; 国别省市:上海;31
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