一种太阳能电池微透镜阵列薄膜及其制作方法 CN201510894384.0

本发明公开了一种太阳能电池微透镜阵列薄膜及其制作方法，该方法包括如下步骤：一、运用光学模拟软件设计折射型微透镜阵列表面形貌；二、利用光刻法定义微透镜阵列底面形状；三、利用干法刻蚀工艺制作具有设计形貌的硅基微透镜阵列模具；四、聚合物微透镜阵列薄膜的压印制作。该方法由于首先利用光学软件设计适用于增加太阳能电池光捕捉效率的折射型微透镜阵列表面形貌，然后利用干法刻蚀工艺，并通过调整干刻蚀工艺参数，可以制作出具有设计形貌的硅基微透镜阵列模具，经过翻印可以制得太阳能电池聚合物微透镜阵列薄膜。通过该方法能制作出不同于球面或抛物面等规则几何体的复杂形貌，具有工艺简单、可控性好、精度高及成本低等优点。
专利类型：发明
专利号：201510894384.0
专利申请日：2015.12.08
公开（公告）日：2016.03.30
申请（专利权）人：厦门理工学院
发明（设计）人：谢丹; 常雪峰; 郑康; 舒霞云; 王建;
国别省市：福建;35