一种太阳能电池钝化减反薄膜及其制备方法 CN201510109372.2

本发明公开了一种太阳能电池钝化减反膜，包括依次设置于太阳能电池受光面发射结上的三氧化二铝层、氧化硅层、氟化镁层。同时，本发明还公开了一种用于生产所述太阳能电池钝化减反膜的制备方法，包括如下步骤：（1）清洗太阳能电池受光面发射结表面；（2）在太阳能电池表面，通过等离子增强化学气相沉积或原子层沉积方法制备三氧化二铝层；（3）在三氧化二铝层上，通过等离子增强化学气相沉积、或电子束蒸镀、或溅射方法制备氧化硅层；（4）在氧化硅层上，通过溅射或激光脉冲沉积方法制备氟化镁层；（5）对制备的薄膜实施退火。本发明的钝化减反膜具有较好的光学减反特性，有利于提高太阳能电池的转换效率，适合于太阳能电池的大规模制造。
专利类型：发明
专利号：201510109372.2
专利申请日：2015.03.13
公开（公告）日：2016.01.27
申请（专利权）人：常州天合光能有限公司;
发明（设计）人：盛赟; 蔡文浩;
国别省市：江苏;32