一种黄铜矿型薄膜光伏电池及其制作方法 CN201510223339.2

本发明公开了一种黄铜矿型薄膜光伏电池及其制作方法，该电池包括衬底、覆盖衬底表面的电介质材料层、覆盖电介质材料层的背电极层、覆盖背电极层的含有Na、Bi、和O元素的光吸收层、覆盖含有Na、Bi和O元素的光吸收层的缓冲层和覆盖缓冲层的透明导电窗口层。在该制作方法中，利用含有NaBiO3的Cu-In-Ga靶材或含有NaBiO3的Cu-Ga靶材溅射沉积对光吸收层进行Na掺杂，使光吸收层中含有0.02-1.5at％的钠。本发明既可以实现对CIGS光吸收层中钠含量的精确控制，又可以与背电极层、CIGS光吸收层的预制层的工艺相匹配，而且还可以降低制造成本。
专利类型：发明
专利号：201510223339.2
专利申请日：2015.05.05
公开（公告）日：2015.09.02
申请（专利权）人：厦门神科太阳能有限公司
发明（设计）人：李艺明; 田宏波
国别省市：福建;35