一种利用等离子去除锂电池电极片铝屑的处理工艺及装置 CN201310282035.4

本发明公开了一种利用等离子去除锂电池电极片铝屑的处理工艺及装置，该处理工艺包括：a、将分切好的锂电池电极片竖直放置在一密封的刻蚀腔体内的转盘上；b、通过抽气装置将刻蚀腔体抽至真空状态；c、通过气体进口向刻蚀腔体内通入刻蚀气体，由射频源将通入的刻蚀气体激发成等离子体来对锂电池电极片的分切断面进行刻蚀；d、通过抽气装置将刻蚀掉的物质吸走并排放掉，然后从通入氧气。本发明通过射频源对刻蚀气体进行激活成等离子体，利用等离子体对锂离子电极片的分切断面上的铝屑进行刻蚀处理，产生的等离子体在电极片的负偏压电源作用下，高速轰击锂离子电极片的边缘并产生刻蚀效果，来达到去除电极片边缘铝屑的目的。
专利类型：发明
专利号：201310282035.4
专利申请日：2013.07.05
公开（公告）日：2015.01.14
申请（专利权）人：深圳市大成精密设备有限公司
发明（设计）人：张孝平;林柯
国别省市：广东;44