基于离子注入工艺的n型IBC硅太阳能电池制作方法 CN201410449828.5
本发明公开了一种基于离子注入工艺的n型IBC硅太阳能电池制作方法,通过采用硼扩散和离子注入方式相结合实现n+、p+区域的掺杂,且该工艺无需在背面的n+/p+界面进行隔离,即可有效地避免电池的隧道结漏电。
专利类型:发明
专利号:
201410449828.5专利申请日:
2014.09.05公开(公告)日:
2014.07.01申请(专利权)人:
奥特斯维能源(太仓)有限公司发明(设计)人:
董经兵;朱彦斌;张斌;邢国强国别省市:
江苏;32