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基于离子注入工艺的n型IBC硅太阳能电池制作方法 CN201410449828.5
本发明公开了一种基于离子注入工艺的n型IBC硅太阳能电池制作方法,通过采用硼扩散和离子注入方式相结合实现n+、p+区域的掺杂,且该工艺无需在背面的n+/p+界面进行隔离,即可有效地避免电池的隧道结漏电。 专利类型:发明 专利号:201410449828.5 专利申请日:2014.09.05 公开(公告)日:2014.07.01 申请(专利权)人:奥特斯维能源(太仓)有限公司 发明(设计)人:董经兵;朱彦斌;张斌;邢国强 国别省市:江苏;32
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