一种仿生双面受光太阳能电池的制作工艺 CN201410278259.2

一种仿生双面受光晶硅太阳电池的制作工艺包括制绒，扩散，背面刻蚀，原子层沉积氧化铝，通氧退火，生长氮化硅，激光开膜，印刷，烧结等9个工序，原子层沉积的氧化铝薄膜用于钝化电池背面，热氧生成的氧化硅用于钝化电池正面，退火工艺同时完成了氧化铝薄膜的再构，正表面氧化层的形成以及发射结的进一步推进，背面采用铝栅线印刷代替传统的铝背场工艺，不仅增加了氧化铝的场钝化效果，提高了开路电压，而且背面叠层膜增加了长波光子在背面的反射，从而增加了晶硅电池的长波响应，另外，背面仿生树叶栅线结构有利于背面散射光子的收集，为双玻组件提供了优异的电池结构，同时美化了幕墙的室内环境。
专利类型：发明
专利号：201410278259.2
专利申请日：2014.06.20
公开（公告）日：2014.09.17
申请（专利权）人：润峰电力有限公司
发明（设计）人：孟祥海;钱金梁;孙广印;陈斌;王步峰
国别省市：山东;37