背钝化层结构、背钝化P型太阳能电池及其制备方法 CN201410267814.1

本发明公开了一种背钝化层结构及其制备方法，该结构采用Al2O3薄膜与TiO2薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构，由于TiO2薄膜可以使用喷涂法由钛酸丁酯加热分解制得，具体可通过将硅片放置在加热基板上，将钛酸丁酯均匀喷涂在硅片上面，钛酸丁酯经高温分解而形成TiO2薄膜；因此其制备非常简单，不需要复杂的制备设备。与目前制备SiN薄膜的PECVD真空镀膜设备相比较，其设备占地空间小、设备结构简单、价格便宜。因而为常规产线进行背钝化电池改造提供了可能。同时，还公开了一种背钝化P型太阳能电池及其制备方法，该电池采用Al2O3薄膜与TiO2薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构。
专利类型：发明
专利号：201410267814.1
专利申请日：2014.06.16
公开（公告）日：2014.08.27
申请（专利权）人：中电投西安太阳能电力有限公司
发明（设计）人：陈璐;吴翔;董鹏;高鹏;宋志成;郭永刚;屈小勇;王举亮
国别省市：陕西;61