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一种可量产的PERL晶体硅太阳电池的制作方法 CN201410219828.6

 
本发明提供的一种可量产的PERL晶体硅太阳电池的制作方法,包括硅片去损伤并制绒、清洗;磷扩散;背面磷硅玻璃去除,并实现背面抛光,去除磷硅玻璃并清洗;背面氧化铝/氮化硅叠层薄膜生长;正面氮化硅减反射薄膜生长;背面印刷p型掺杂剂并烘干;背面的p型掺杂剂印刷区域采用激光进行局域重掺杂;超声清洗;背面印刷背电极及铝背场,正面印刷银栅线;烧结,测试。本发明步骤简单、易于操作,是一种可量产高效晶硅太阳能电池的制备方法,其主要特点为在商业化的工业设备基础上,充分利用目前企业生产线已具备的常规电池生产设备,充分减少设备投资,且不增加电池每瓦制造成本。
专利号:201410219828.6
专利申请日:2014.05.23
公开(公告)日:2014.08.20
申请(专利权)人:奥特斯维能源(太仓)有限公司
发明(设计)人:夏正月;高艳涛;崔会英;钱亮;何锐;陈同银;刘仁中;董经兵;张雪;谢烜;张斌;邢国强
国别省市:江苏;32


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