一种可量产的PERL晶体硅太阳电池的制作方法 CN201410219828.6

　
本发明提供的一种可量产的PERL晶体硅太阳电池的制作方法，包括硅片去损伤并制绒、清洗；磷扩散；背面磷硅玻璃去除，并实现背面抛光，去除磷硅玻璃并清洗；背面氧化铝/氮化硅叠层薄膜生长；正面氮化硅减反射薄膜生长；背面印刷p型掺杂剂并烘干；背面的p型掺杂剂印刷区域采用激光进行局域重掺杂；超声清洗；背面印刷背电极及铝背场，正面印刷银栅线；烧结，测试。本发明步骤简单、易于操作，是一种可量产高效晶硅太阳能电池的制备方法，其主要特点为在商业化的工业设备基础上，充分利用目前企业生产线已具备的常规电池生产设备，充分减少设备投资，且不增加电池每瓦制造成本。
专利号：201410219828.6
专利申请日：2014.05.23
公开（公告）日：2014.08.20
申请（专利权）人：奥特斯维能源（太仓）有限公司
发明（设计）人：夏正月;高艳涛;崔会英;钱亮;何锐;陈同银;刘仁中;董经兵;张雪;谢烜;张斌;邢国强
国别省市：江苏;32