一种N型背结太阳能电池的制备方法 CN201410195269.X

本发明公开了一种N型背结太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：(1)清洗、制绒；(2)硅片正面磷扩散；(3)刻蚀硅片背面；抛光；(4)在硅片背面印刷硼浆，烘干、退火后形成轻掺杂PN结；(5)低温氧化；(6)在硅片的背面沉积氧化铝钝化膜；(7)沉积氮化硅钝化层；(8)激光开口，并在开口处印刷铝浆或溅射铝金属膜；(9)正面印刷银浆，正、背面共烧结。本发明在硅片背面利用两种不同的掺杂介质形成了B/Al重掺杂、B轻掺杂的选择性发射极结构；两种不同掺杂介质的配合使用，解决了现有技术中铝浆大面积掺杂带来的表面复合严重和电池片弯曲等问题。
专利类型：发明
专利号：201410195269.X
专利申请日：2014.05.09
公开（公告）日：2014.07.30
申请（专利权）人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
发明（设计）人：侯利平;王栩生;章灵军
国别省市：江苏;32