高效太阳能电池的金属化制造方法 CN201410184949.1

本发明公开了一种高效太阳能电池的金属化制造方法，步骤为：一：对硅片进行抛光和清洗后，进行化学蚀刻和表面制绒；二：在电池正反面同时进行磷掺杂，形成和制造出PN结；三：去除表面的磷硅玻璃；四：用管式扩散炉进行热氧化，加工形成钝化减反膜；五：用PECVD经加工形成表面掩膜，然后用丝网印刷在掩膜层上蚀刻正电极图形，并刷上一次薄银浆；六：丝网印刷铝背场和背电极，然后进行背部烧结，使银硅金属材料合金化，即烧结银；七：在正面烧结银的表面使用替代金属化材料以增加栅线厚度，所使用替代金属为：电沉积银或者电沉积镍+铜+锡；八：对电池片进行退火；九：完成电池片的功率测试，导电性测试，强度测试后，对完成电池片分选和包装。成本低。
专利类型：发明
专利号：CN201410184949.1
专利申请日：2014.05.04
公开（公告）日：2014.07.23
申请（专利权）人：上海华友金裕微电子有限公司
发明（设计）人：肖笛;黄永远;罗红军;肖广源
国别省市：上海;31