一种N型背结太阳能电池的制备方法 CN201410150951.7

本发明公开了一种N型背结太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：(1)清洗；抛光；(2)硼扩散；在硅片的前表面和背表面生长氧化层；(3)刻蚀硅片边缘和前表面；得到前表面去除氧化层的硅片；(4)采用四甲基氢氧化铵溶液对硅片的前表面进行制绒；(5)离子注入；(6)高温激活；(7)双面沉积氮化硅；(8)在硅片背表面形成点接触开口；(9)印刷铝电极、银电极；共烧结，以形成金属化接触。本发明利用背表面保留的氧化层作为阻挡层对前表面进行制绒，实现了前表面制绒的同时不影响背面氧化层的钝化效果；此外，将该背表面保留的氧化层作为钝化层，不需要再次高温形成氧化层或沉积氧化铝，从而大大简化了工艺步骤。
专利类型：发明
专利号：201410150951.7
专利申请日：2014.04.15
公开（公告）日：2014.07.2
申请（专利权）人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
发明（设计）人：刘运宇;王栩生;章灵军
国别省市：江苏;32