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一种N型背结太阳能电池的制备方法 CN201410150951.7


本发明公开了一种N型背结太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗;抛光;(2)硼扩散;在硅片的前表面和背表面生长氧化层;(3)刻蚀硅片边缘和前表面;得到前表面去除氧化层的硅片;(4)采用四甲基氢氧化铵溶液对硅片的前表面进行制绒;(5)离子注入;(6)高温激活;(7)双面沉积氮化硅;(8)在硅片背表面形成点接触开口;(9)印刷铝电极、银电极;共烧结,以形成金属化接触。本发明利用背表面保留的氧化层作为阻挡层对前表面进行制绒,实现了前表面制绒的同时不影响背面氧化层的钝化效果;此外,将该背表面保留的氧化层作为钝化层,不需要再次高温形成氧化层或沉积氧化铝,从而大大简化了工艺步骤。
专利类型:发明
专利号:201410150951.7
专利申请日:2014.04.15
公开(公告)日:2014.07.2
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
发明(设计)人:刘运宇;王栩生;章灵军
国别省市:江苏;32


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