太阳能电池中的具有可控厚度的硒化钼子层及其形成方法 CN201310150954.6
本发明提供了一种太阳能电池，其具有钼背电极层和位于钼背电极上方的硒化钼欧姆接触层。硒化钼层包括精确控制的厚度。在钼背电极层和硒化钼之间存在明显的界面。通过在最初形成的钼层上方形成钼层或氮化钼层或钼氧化层来产生硒化钼层从而使得这两层之间存在界面。实施硒化和硫化工艺以选择性地将含钼层转换为硒化钼但并不将保持为钼层的最初的钼背电极转换。本发明还提供了太阳能电池中的具有可控厚度的硒化钼子层及其形成方法。
专利号：
201310150954.6专利申请日：
2013.04.26公开（公告）日：
2014.05.21申请（专利权）人：
台积太阳能股份有限公司发明（设计）人：
陈世伟;李文钦;严文材;吴忠宪;陈冠竹国别省市：
台湾;71
