一种太阳能电池的钝化层及其制备工艺 CN201410031473.8

本发明公开了一种太阳能电池的钝化层及其制备工艺，其特征是钝化层是由氧化钆（Gd2O3）构成。其制备工艺为先用原子层沉积法在P型或N型晶体硅片的P型一侧沉积氧化钆钝化层，然后进行退火处理，在钝化层与P型或N型晶体硅衬底的P型一侧之间形成SiO2缓冲层，完成钝化层的制备。本发明的钝化层，晶格匹配好，具有场效应钝化和化学钝化的双重作用，钝化效果良好。采用本发明的制备工艺，获得的钝化层晶体结构完整，缺陷密度低，与晶硅衬底晶格匹配性好，保证了电池的钝化效果。
专利类型：发明
专利号：201410031473.8
专利申请日：2014.01.23
公开（公告）日：2014.04.23
申请（专利权）人：通用光伏能源（烟台）有限公司
发明（设计）人：罗伟;刘吉人;万资仁;唐维泰;余钦章;李文艳;李爱丽;潘若宏;张志红
国别省市：山东;37