锂离子电池负极集流体材料及制备方法 CN201310706139.3

本发明涉及一种锂离子电池负极集流体材料，包括金属铜箔，金属铜箔表面覆有碳化硅层，碳化硅层厚度是0.003-0.009mm。采用物理气相沉积方法中的射频磁控溅射工艺制备材料，其工艺条件为：以碳化硅为溅射靶，金属铜箔为溅射基材，通入氩气，射频电源频率为30-50MHz，加速电压为300-500V，磁场为50-200G，气压为1-5mTorr，电流密度为30-50mA/cm，功率密度为20-40W/cm，溅射靶与基材之间的距离为50-100mm，基材的速度为20-30m/min。
专利类型：发明
专利号：201310706139.3
专利申请日：2013.12.19
公开（公告）日：2014.03.19
申请（专利权）人：山东精工电子科技有限公司
发明（设计）人：关成善;宗继月;李涛;贾传龙;刘艳辉
国别省市：山东;37