一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法 CN201310303061.0

一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，包括：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；将铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；再以5℃/min的升温速率升温至480℃，并保温20min～30min；再以5℃/min的升温速率升温至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。通过上述制备方法，从而形成均匀的，致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。
专利类型：发明
专利号：201310303061.0
专利申请日：2013.07.18
公开（公告）日：2013.11.20
申请（专利权）人：深圳先进技术研究院
发明（设计）人：于冰;杨春雷;程冠铭;冯叶;鲍浪;郭延璐;徐苗苗
国别省市：广东;44