一种基于背钝化太阳能电池制作的背面抛光工艺 CN201310168596.1

　
本发明公开了一种基于背钝化太阳能电池制作的背面抛光工艺，其步骤包括：先在硅片正面生成一定厚度，起保护作用的氮化硅掩膜，再使用加热的浓碱液对硅片背面进行中度腐蚀，达到抛光效果。本发明是一种低成本的化学抛光法，经济适用，适合大生产使用，化学液的处理也非常简单，一般的工厂水处理都可以完全解决，经济，环保。
专利号：201310168596.1
专利申请日：2013.05.09
公开（公告）日：2013.08.07
申请（专利权）人：湖南红太阳光电科技有限公司
发明（设计）人：成文;刘文峰;杨晓生
国别省市：湖南;43