叠层太阳能电池及其制备方法 CN201310142882.0

本发明提供了一种叠层太阳能电池的制备方法，该制备方法包括以下步骤：提供衬底，在所述衬底上形成前电极；在所述前电极依次形成第一P型掺杂层、第一本征层以及第一N型掺杂层，构成第一P-I-N结；对所述第一P-I-N结的表面进行等离子体氧化处理，以形成氧化层；在所述氧化层上依次形成第二P型掺杂层、第二本征层以及第二N型掺杂层，构成第二P-I-N结；在所述第二P-I-N结上形成背电极。相应地，本发明还提供了一种叠层太阳能电池结构。本发明可以有效地提高叠层太阳能电池的转换效率，且工艺简单、成本低廉、能够与现有技术中叠层太阳能电池的生产设备相兼容。
专利号：201310142882.0
专利申请日：2013.04.22
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.07.24
分类号：
申请（专利权）人：浙江正泰太阳能科技有限公司
发明（设计）人：刘石勇;牛新伟;杨德仁;仇展炜
国别省市：浙江;33