蚀刻掩模用组合物及图案形成方法 CN201210478704.0
本发明提供一种太阳能电池用基板的蚀刻掩模用组合物,其是非感光性的,含有酚醛清漆树脂(A)和沸点为190℃以上的溶剂(B)。此外,对于该蚀刻掩模用组合物而言,所述溶剂(B)相对于全部溶剂的含量为70质量%以上。
专利号:
201210478704.0专利申请日:
2012.11.22公开(公告)号:
公开(公告)日:
2013.06.12分类号:
申请(专利权)人:
东京应化工业株式会社发明(设计)人:
富田浩明;吉井靖博;平井隆昭国别省市:
日本;JP