透明导电氧化物薄膜的制备方法 CN201310051864.1

本发明提供了一种透明导电氧化物薄膜的制备方法，包括：采用第一功率，在衬底上制备第一层薄膜；采用第二功率，在第一层薄膜上制备第二层薄膜；其中，第二功率大于第一功率。本发明提供的透明导电氧化物薄膜的制备方法，由于采用低功率制备出的TCO薄膜平整致密均匀，对衬底薄膜起到了很好的保护作用，因此，避免了采用高功率制备TCO薄膜时，溅射粒子对衬底薄膜造成轰击损伤的问题，从而制备出了高质量的TCO薄膜，提高了太阳能电池的转换效率。
专利号：201310051864.1
专利申请日：2013.02.17
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.06.12
分类号：
申请（专利权）人：英利集团有限公司
发明（设计）人：陈剑辉;李锋;沈燕龙;赵文超;李高非;胡志岩;熊景峰;宋登元
国别省市：河北;13