去除磷硅玻璃的设备和方法 CN201210442267.7

本发明公开了一种去除磷硅玻璃的设备和方法，该方法包括：将扩散完成后的硅片放置在第二密封容器中；将N2通入到氢氟酸溶液中，通过N2将含水的氟化氢气体通入第二密封容器中，其中，所述氢氟酸溶液存储在第一密封容器中；在第二密封容器中，含水的氟化氢气体与硅片表面的PSG反应，去除硅片表面的PSG；从第二密封容器中排出反应生成物。本发明提供的去除磷硅玻璃的方法，由于含水的氟化氢气体与硅片表面的PSG的反应是在密封设备中进行的，因此，降低了人接触剧毒化学品氢氟酸的概率，增加了生产的安全性。
专利类型：发明
专利号：201210442267.7
专利申请日：2012.11.07
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.2.20
分类号：
申请（专利权）人：英利能源（china）有限公司
发明（设计）人：马红娜;张红妹;马桂艳;胡海波
国别省市：河北;13