一种石英舟清洗和饱和处理方法 CN201210315992.8

本发明公开了一种石英舟清洗和饱和处理方法，具体步骤：石英舟的清洗，将石英舟放入浓度为10%～25%的氢氟酸进行浸泡40min～120min后，放入喷淋槽用纯水喷淋，喷淋时间为20min～90min；干燥，用气体干燥剂吹干石英舟；石英舟的饱和，将石英舟放入炉温为800℃～900℃的管式扩散炉中，通入氧气和流量为1000～3000ml/min三氯氧磷液态源，其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1～5；最后用10～30L/min的氮气或者氧气冷却石英舟。其优点：经过清洗后石英舟上的硅粉松动，再放入喷淋槽中喷淋，使得松动的硅粉完全清除，再通过大流量的三氯氧磷液态源和氧气饱和，使得存在‘死角’的石英舟卡槽充分吸收磷原子，硅片上不会产生卡槽印，提高电池片的合格率。
专利类型：发明
专利号：201210315992.8
专利申请日：2012.08.31
公开（公告）号：
公开（公告）日：2013.1.16
分类号：
申请（专利权）人：宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司
发明（设计）人：吴艳芬;詹国平;刘伟;陈筑;刘晓巍;蔡二辉
国别省市：浙江;33