一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法 CN201210280345.8

本发明公开了一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括如下步骤：(1)将待处理的多晶硅片的正面整面生长含磷掺杂剂；(2)将上述多晶硅片放入扩散炉中，以1~10℃/min的升温速率升温至880~930℃；(3)保持上述温度，通入携磷源氮气、干氧和大氮进行扩散；(4)以1~10℃/min的降温速率降温至800~850℃；(5)降温，完成扩散过程。本发明采用正面整面生长含磷掺杂剂的方法，实现了吸杂、去除了多晶硅片的红边的目的；试验证明，相比现有的磷扩散方法，采用本发明的扩散方法制得的电池片的光电转换效率提升了0.2%，取得了意想不到的技术效果。
专利类型：发明
专利号：201210280345.8
专利申请日：2012.08.08
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.12.5
分类号：
申请（专利权）人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（china）投资有限公司
发明（设计）人：张凤;王栩生;章灵军
国别省市：江苏;32