一种采用N型衬底的发光二极管及其制造方法 CN201210267956.9
本发明公开一种采用N型衬底的发光二极管及其制造方法,其包括N型GaAs衬底,在N型GaAs衬底上依次生长有N型GaAs缓冲层、布拉格反射层、N型下限制层、有源层、P型上限制层、P型电流扩展层、P型粗化层以及欧姆接触层;所述有源层可由Undoped-(AlxGa1-x)yIn1-yP构成;所述P型电流扩展层可由p-AlxGa1-xAs构成且其厚度为1~15um;所述P型粗化层可由p-(AlxGa1-x)yIn1-yP构成且其厚度为0.3~5um;所述欧姆接触层由P++GaAs构成;其制造方法包括在300℃-700℃的温度下对N型GaAs衬底进行表面处理,然后依次生长各外延结构;本发明可大幅提高发光二极管的外量子效率,发光效率高,使用寿命长。
专利类型:发明
专利号:
201210267956.9专利申请日:
2012.07.31公开(公告)号:
公开(公告)日:
2012.10.31分类号:
申请(专利权)人:
厦门乾照光电股份有限公司发明(设计)人:
蔡建九;杨凯;林志伟;陈凯轩;林志园国别省市:
福建;35