本发明涉及一种异质结太阳能电池结构及其制作方法，该电池结构为在非晶硅层上制作TCO/Ag/TCO透明导电膜，其制作方法为在P型硅片基材背面依次制作二氧化硅层、氮化硅层、铝层，随后采用激光烧结在硅片基材背面打孔，然后在300℃～400℃纯氮气下退火；翻转硅片，在硅片的正面沉积本征非晶硅层,然后再沉积n+非晶硅层,之后采用磁控溅射沉积TCO、Ag层、TCO，形成TCO/Ag/TCO透明导电膜，然后在320℃～450℃温度范围内，氮气和氢气混合气氛下退火10～30分钟。本发明的有益效果是：通过在TCO层加入银层，有利于降低电池电阻率，降低串联电阻，提高短路电流。加入二氧化硅层主要是提高背钝化，减少复合速度。在沉积形成透明导电膜后退火可以提高透光率，降低电阻。
专利类型：发明
专利号：
201210140617.4专利申请日：
2012.05.08公开（公告）号：
公开（公告）日：
2012.10.24分类号：
申请（专利权）人：
常州天合光能有限公司发明（设计）人：
董科研国别省市：
江苏;32
