类单晶硅太阳能电池用叠层减反射膜 CN201210248583.0

一种类单晶硅太阳能电池用叠层减反射膜，在太阳能电池类单晶硅片（3）的前表面，从内至外依次设有ZnO空心球薄膜（2）和氮化硅薄膜（1）；ZnO薄膜（2）的厚度为15~20nm；氮化硅薄膜（1）的厚度为30~40nm。本发明所用的ZnO空心球薄膜折射率为2.03，氮化硅薄膜的折射率为1.4~1.7，这种叠层膜与单层膜相比具有更好的光学匹配特性，不仅对在硅的主光谱响应的550nm的光有优异的减反射效果，而且对波长在300~1200nm范围内的光都有很好的件反射和吸收效果，从而提高类单晶硅太阳能电池的转换效率。
专利类型：发明
专利号：201210248583.0
专利申请日：2012.07.17
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.10.10
分类号：
申请（专利权）人：东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司
发明（设计）人：杨骞;全余生;龚双龙;王金伟;崔梅兰
国别省市：江苏;32