记录太阳能晶片制程履历的方法及系统 CN201110243464.1

本发明提供了一种记录太阳能晶片制程履历的方法，使用于太阳能晶片的串列式连续生产线，包括：在串列式连续生产线预设多个制程站，并在每一个制程站至少设有一个计数器；计算太阳能晶片通过各计数器的时间，并依据计数器的晶片计数，建立每一片太阳能晶片的晶片序号，以得到晶片序号及时间的关系；记录所述这些制程站的制程参数与时间的关系；及同步化所述制程站的制程参数及晶片序号所对应的时间，以得到太阳能晶片的制程履历。采用本发明的记录太阳能晶片制程履历的方法及系统，方法简单，成本低廉，可整合于原先的制程中使用，达到对太阳能晶片的制程参数做追踪，以排除异常或最佳化制程的目的。。
专利类型：发明
专利号：201110243464.1
专利申请日：2011.08.24
公开（公告）号：
公开（公告）日：2012.09.05
分类号：
申请（专利权）人：英稳达科技股份有限公司
发明（设计）人：烟浩;谢瑞海;简荣吾
国别省市：台湾;71